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半导体芯片,到底是如何工作的?

今天这篇  ,半导我们继续往下讲 ,体芯说说芯片的底何诞生过程——从真空管、晶体管到集成电路 ,工作从BJT、半导MOSFET到CMOS ,体芯芯片究竟是底何如何发展起来的,又是工作如何工作的。

真空管(电子管)

爱迪生效应

1883年 ,半导著名发明家托马斯·爱迪生(Thomas Edison)在一次实验中 ,体芯观察到一种奇怪现象。底何

当时 ,服务器租用工作他正在进行灯丝(碳丝)的半导寿命测试 。在灯丝旁边,体芯他放置了一根铜丝 ,底何但铜丝并没有接在任何电极上 。也就是说 ,铜丝没有通电。

碳丝正常通电后,开始发光发热。过了一会,爱迪生断开电源 。他无意中发现,铜丝上竟然也产生了电流。

爱迪生没有办法解释出现这种现象的原因 ,香港云服务器但是 ,作为一个精明的“商人”,他想到的第一件事  ,就是给这个发现申请专利。他还将这种现象 ,命名为“爱迪生效应” 。

现在我们知道 ,“爱迪生效应”的本质 ,是热电子发射。也就是建站模板说,灯丝被加热后 ,表面的电子变得活跃 ,“逃”了出去 ,结果被金属铜丝捕获 ,从而产生了电流。

爱迪生申请专利之后 ,并没有想到这个效应有什么用途 ,于是将其束之高阁。

1884年  ,英国物理学家约翰·安布罗斯·弗莱明(John Ambrose Fleming)访问美国,与爱迪生进行会面。爱迪生向弗莱明展示了爱迪生效应 ,给弗莱明留下了深刻的云计算印象  。

二极管

等到弗莱明真正用到这个效应 ,已经是十几年后的事情了。

1901年,无线电报发明人伽利尔摩·马可尼(Guglielmo Marconi)启动了横跨大西洋的远程无线电通信实验 。弗莱明加入了这场实验 ,帮助研究如何增强无线信号的接收。

简单来说,就是研究如何在接收端检波信号、放大信号,让信号能够被完美解读 。源码库

放大信号大家都懂 ,那什么是检波信号呢?

所谓信号检波,其实就是信号筛选 。天线接收到的信号 ,是非常杂乱的,什么信号都有  。我们真正需要的信号(指定频率的信号),需要从这些杂乱信号中“过滤”出来 ,这就是免费模板检波 。

想要实现检波,单向导通性(单向导电)是关键。

无线电磁波是高频振荡,每秒高达几十万次的频率 。无线电磁波产生的感应电流 ,也随着“正 、负、正 、负”不断变化 ,如果我们用这个电流去驱动耳机 ,一正一负就是零 ,耳机就没办法准确地识别出信号。

采用单向导电性 ,正弦波的负半周就没有了,全部是正的 ,电流方向一致 。把高频过滤掉之后 ,耳机就能够轻松感应出电流的变化。

去掉负半周,电流方向变成一致的,容易解读

为了检波信号,弗莱明想到了“爱迪生效应”——是不是可以基于爱迪生效应的电子流动,设计一个新型的检波器呢 ?

就这样,1904年 ,世界上第一支真空电子二极管,在弗莱明的手下诞生了。当时,这个二极管也叫做“弗莱明阀”。(真空管  ,vacuum tube,也就是电子管,有时候也叫“胆管” 。)

弗莱明发明的二极管

弗莱明的二极管 ,结构其实非常简单 ,就是真空玻璃灯泡里 ,塞了两个极:一个阴极(Cathode),加热后可以发射电子(阴极射线);一个阳极(Anode),可以接收电子。

旁热式二极管

玻璃管里之所以要抽成真空 ,是为了防止发生气体电离,对正常的电子流动造成影响 ,破坏特性曲线。(抽成真空 ,还可以有效降低灯丝的氧化损耗。)

三极管

二极管的出现 ,解决了检波和整流需求 ,当时是一个重大突破  。但是  ,它还有改进的空间。

1906年 ,美国科学家德·福雷斯特(De Forest Lee)在真空二极电子管里 ,巧妙地加了一个栅板(“栅极”),发明了真空三极电子管 。

德·福雷斯特发明的三极管

加了栅极之后 ,当栅极的电压为正 ,它就会吸引更多阴极发出的电子。大部分电子穿过栅极,到达阳极,将大大增加阳极上的电流。

如果栅极的电压为负,阴极上的电子就没有动力前往栅极,更不会到达阳极 。

栅极上很小的电流变化 ,能引起阳极很大的电流变化 。而且 ,变化波形与栅极电流完全一致 。所以 ,三极管有信号放大的作用 。

一开始的三极管是单栅,后来变成了两块板子夹在一起的双栅,再后来,干脆变成了整个包起来的围栅 。

围栅

真空三极管的诞生,是电子工业领域的里程碑事件。

这个小小的元件,真正实现了用电控制电(以往都是用机械开关控制电,存在频率低、寿命短 、易损坏的问题),用“小电流”控制“大电流” 。

它集检波、放大和振荡三种功能于一体,为电子技术的发展奠定了基础。

基于它,我们才有了性能越来越强的广播电台、收音机 、留声机、电影、电台 、雷达 、无线电对讲等 。这些产品的广泛普及,改变了人们的日常生活 ,推动了社会进步。

真空管

1919年 ,德国的肖特基提出在栅极和正极间加一个帘栅极的想法 。这个想法被英国的朗德在1926年实现。这就是后来的四极管。再后来 ,荷兰的霍尔斯特和泰莱根又发明了五极管。

20世纪40年代 ,计算机技术研究进入高潮 。人们发现  ,电子管的单向导通特性 ,可以用于设计一些逻辑电路(例如与门电路、或门电路)。

于是,他们开始将电子管引入计算机领域 。那时候,包括埃尼阿克(ENIAC,使用了18000多只电子管)在内的几乎所有电子计算机,都是基于电子管制造的。

埃尼阿克

这里我们简单说说门电路。

我们学习计算机基础的时候  ,肯定学过基本的逻辑运算,例如与、或、非、异或 、同或、与非 、或非等。

计算机只认识0和1 。它进行计算,就是基于这些逻辑运算规则。

例如2+1,就是二进制下的0010+0001 ,做“异或运算” ,等于0011 ,也就是3。

实现上面这些逻辑门功能的电路,就是逻辑门电路 。而单向导电的电子管(真空管) ,可以组建变成各种逻辑门电路。

例如下面的“或门电路”和“与门电路” 。

A 、B为输入,F为输出

晶体管

电子管高速发展和应用的同时 ,人们也逐渐发现 ,这款产品存在一些弊端:

一方面 ,电子管容易破损 ,故障率高;另一方面,电子管需要加热使用,很多能量都浪费在发热上 ,也带来了极高的功耗。

所以,人们开始思考——是否有更好的方式 ,可以实现电路的检波 、整流和信号放大呢 ?

方法当然是有的。这个时候,一种伟大的材料就要登场了,它就是——半导体 。

半导体的萌芽

我们将时间继续往前拨 ,回到更早的18世纪 。

1782年 ,意大利著名物理学家亚历山德罗·伏特(Alessandro Volta) ,经过实验总结,发现固体物质大致可以分为三种 :

第一种,像金银铜铁等这样的金属,极易导电 ,称为导体;

第二种,像木材 、玻璃 、陶瓷、云母等这样的材料,不易导电 ,称为绝缘体;

第三种,介于导体和绝缘体之间 ,会缓慢放电。

第三种材料的奇葩特性,伏特将其命名为“Semiconducting Nature”,也就是“半导体特性” 。这是人类历史上第一次出现“半导体(semiconductor)”这一称呼。

后来 ,陆续有多位科学家 ,有意或无意中 ,发现了一些半导体特性现象。例如  :

1833年 ,迈克尔·法拉第(Michael Faraday)发现,硫化银在温度升高时,电阻反而会降低(半导体的热敏特性) 。

1839年,法国科学家亚历山大·贝克勒尔(Alexandre Edmond Becquerel)发现  ,光照可以使某些材料的两端产生电势差(半导体的光伏效应) 。

1873年,威勒毕·史密斯(Willoughby Smith)发现 ,在光线的照射下 ,硒材料的电导率会增加(半导体的光电导效应)。

这些现象,当时没有人能够解释,也没有引起太多关注 。

1874年,德国科学家卡尔·布劳恩(Karl Ferdinand Braun)发现了天然矿石(金属硫化物)的电流单向导通特性 。这是一个巨大的里程碑。

1906年,美国工程师格林里夫·惠特勒·皮卡德(Greenleaf Whittier Pickard)  ,基于黄铜矿石晶体  ,发明了著名的矿石检波器(crystal detector) ,也被称为“猫胡须检波器”(检波器上有一根探针,很像猫的胡须  ,因此得名) 。

矿石检波器

矿石检波器是人类最早的半导体器件 。它的出现,是半导体材料的一次“小试牛刀”。

尽管它存在一些缺陷(品控差 ,工作不稳定 ,因为矿石纯度不高),但有力推动了电子技术的发展。当时 ,基于矿石检波器的无线电接收机 ,促进了广播和无线电报的普及。

能带理论的问世

人们使用着矿石检波器  ,却始终想不明白它的工作原理 。在此后的30余年里,科学家们反复思考——为什么会有半导体材料?为什么半导体材料可以实现单向导电 ?

早期的时候 ,很多人甚至怀疑半导体材料是否真的存在 。著名物理学家泡利(Pauli)曾经表示  :“人们不应该研究半导体,那是一个肮脏的烂摊子,有谁知道是否有半导体的存在。”

后来,随着量子力学的诞生和发展 ,半导体的理论研究终于有了突破 。

1928年,德国物理学家、量子力学创始人之一,马克斯·普朗克(Max Karl Ernst Ludwig Planck) ,在应用量子力学研究金属导电问题中,首次提出了固体能带理论 。

他认为,在外电场作用下,半导体导电分为“空穴”参与的导电(即P型导电)和电子参与的导电(即N型导电) 。半导体的许多奇异特性 ,都是由“空穴”和电子所共同决定的 。

后来 ,能带理论被进一步完善成型 ,系统地解释了导体、绝缘体和半导体的本质区别。

我们来简单了解一下能带理论。

大家在中学物理里学过 ,物体由分子 、原子组成 ,原子的外层是电子  。

固体物体的原子之间,靠得比较紧,电子就会混到一起。量子力学认为,电子没法待在一个轨道上 ,会“撞车” 。于是 ,轨道就硬生生分裂成了好几个细轨道 。

在量子力学里,这种细轨道,叫能级。而多个细轨道挤在一起变成的宽轨道 ,叫能带。

在两个能带中,处于下方的是价带 ,上方的是导带,中间的是禁带。价带和导带之间是禁带。禁带的距离,是带隙(能带间隙) 。

电子在宽轨道上移动,宏观上就表现为导电 。电子太多 ,挤满了,动不了 ,宏观上就表现为不导电。

有些满轨道和空轨道距离很近 ,电子可以轻松地从满轨道跑到空轨道上 ,发生自由移动,这就是导体。

两条轨道离得太远,空隙太大 ,电子跑不过去 ,就没有办法导电 。但是  ,如果从外界加一个能量 ,就能改变这种状态。

如果带隙在5电子伏特(5ev)之内,给电子加一个额外能量 ,电子能完成跨越并自由移动,即发生导电 。这种属于半导体 。(硅的带隙大约是1.12eV ,锗大约是0.67eV 。)

如果带隙超过5电子伏特(5ev)  ,正常情况下电子无法跨越 ,就属于绝缘体。(如果外界加很大的能量,也可以强行帮助它跨越过去。例如空气,空气是绝缘体 ,但是高压电也可以击穿空气,形成电流。)

值得一提的是 ,我们现在经常听说的“宽禁带半导体” ,就是包括碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)  、氧化锌(ZnO)、金刚石、氮化铝(AlN)等在内的第三代半导体材料。

它们的优点是禁带宽度大(>2.2ev) 、击穿电场高 、热导率高 、抗辐射能力强 、发光效率高 、频率高,可用于高温、高频、抗辐射及大功率器件 ,是行业目前大力发展的方向 。

前面我们提到了电子和空穴。半导体中有两种载流子 :自由电子和空穴 。自由电子大家比较熟悉 ,什么是空穴呢 ?

空穴又称电洞(Electron hole) 。

常温下,由于热运动 ,少量在价带顶部的能量大的电子,可能越过禁带  ,升迁到导带中,成为“自由电子”。

电子跑了之后,留下一个“洞” 。其余未升迁的电子,就可以进入这个“洞” ,由此产生电流。大家注意 ,空穴本身是不动的,但是由空穴“填洞”过程产生了一种正电在流动的效果,所以也被视为一种载流子 。

1931年,英国物理学家查尔斯·威尔逊(Charles Thomson Rees Wilson)在能带论的基础上,提出半导体的物理模型 。

1939年,苏联物理学家А.С.达维多夫(А.С.Давыдов) 、英国物理学家内维尔·莫特(Nevill Francis Mott) 、德国物理学家华特‧肖特基(Walter Hermann Schottky) ,纷纷为半导体基础理论添砖加瓦。达维多夫首先认识到半导体中少数载流子的作用,而肖特基和莫特提出了著名的“扩散理论” 。

基于这些大佬们的贡献 ,半导体的基础理论大厦,逐渐奠基完成 。

晶体管的诞生

矿石检波器诞生之后 ,科学家们发现,这款检波器的性能,和矿石纯度有极大的关系  。矿石纯度越高,检波器的性能就越好。

因此,很多科学家们进行了矿石材料(例如硫化铅、硫化铜、氧化铜等)的提纯研究,提纯工艺不断精进。

20世纪30年代 ,贝尔实验室的科学家罗素·奥尔(Russell Shoemaker Ohl)提出,使用提纯晶体材料制作的检波器,将会完全取代电子二极管 。(要知道 ,当时电子管处于绝对的市场统治地位 。)

经过对100多种材料的逐一测试 ,他认为,硅晶体是制作检波器的最理想材料。为了验证自己的结论,他在同事杰克·斯卡夫(Jack Scaff)的帮助下 ,提炼出了高纯度的硅晶体熔合体 。

因为贝尔实验室不具备硅晶体的切割能力,奥尔将这块熔合体送到珠宝店,切割成不同大小的晶体样品 。

没想到  ,其中一块样品 ,在光照后 ,一端表现为正极(positive) ,另一端表现为负极(negative) ,奥尔将其分别命名为P区和N区 。就这样 ,奥尔发明了世界上第一个半导体PN结(P–N Junction)。

二战期间,AT&T旗下的西方电气公司,基于提纯的半导体晶体,制造了一批硅晶体二极管 。这些二极管体积小巧 、故障率低,大大改善了盟军雷达系统的工作性能和可靠性 。

奥尔的PN结发明,以及硅晶体二极管的优异表现,坚定了贝尔实验室发展晶体管技术的决心 。

1945年 ,贝尔实验室的威廉·肖克利(William Shockley)在与罗素·奥尔交流后 ,基于能带理论 ,绘制了P型与N型半导体的能带图 ,并在此基础上,提出了“场效应设想”。

肖克利的场效应设想

他假设硅晶片的内部电荷可以自由移动 ,如果晶片足够薄 ,在施加电压的影响下 ,硅片内的电子或空穴会涌现表面 ,大幅提升硅晶片的导电能力 ,从而实现电流放大的效果。

根据这个设想,1947年12月23日,贝尔实验室的约翰·巴丁和沃尔特·布拉顿做成了世界上第一只半导体三极管放大器 。也就是下面这个看上去非常奇怪且简陋的东东 :

世界上第一个晶体管(基于锗半导体)

晶体管的电路模型

根据实验记录 ,这个晶体管可以实现“电压增益100 ,功率增益40,电流损失1/2.5……”,表现非常出色。

在命名时,巴丁和布拉顿认为 ,这个装置之所以能够放大信号,是因为它的电阻变换特性 ,即信号从“低电阻的输入”到“高电阻的输出” 。于是 ,他们将其取名为trans-resistor(转换电阻) 。后来,缩写为transistor。

多年以后,我国著名科学家钱学森 ,将其中文译名定为:晶体管。

我归纳一下 ,半导体特性是一种特殊的导电能力(受外界因素) 。具有半导体特性的材料 ,叫半导体材料 。硅和锗,是典型的半导体材料。

微观上,按照一定规律排列整齐的物质,叫做晶体。硅晶体就有单晶 、多晶、无定型结晶等形态 。

晶体形态决定了能带结构 ,能带结构决定了电学特性  。所以,硅(锗)晶体作为半导体材料,才有这么大的应用价值。

二极管、三极管、四极管 ,是从功能上进行命名。电子管(真空管)、晶体管(硅晶体管 、锗晶体管),是从原理上进行命名  。

巴丁和布拉顿发明的晶体管,实际上应该叫做点接触式晶体管。从下图中也可以看出 ,这种设计过于简陋。虽然它实现了放大功能,但结构脆弱,对外界震动敏感 ,也不易制造,不具备商业应用的能力 。

肖克利看准了这个缺陷 ,开始闭关研究新的晶体管设计 。

1948年1月23日,经过一个多月的努力,肖克利提出了一种具有三层结构的新型晶体管模型 ,并将其名为结式晶体管(Junction Transistor) 。

肖克利的结式晶体管设计

帮助肖克利完成最终成品制作的,是摩根·斯帕克(Morgan Sparks)和高登·蒂尔(Gordon Kidd Teal) 。

需要特别说一下这个高登·蒂尔 。

他发现采用单晶半导体替换多晶  ,可以带来显著的性能提升。而且 ,也是他发现直拉法可以用于提纯金属单晶。这种方法后来一直沿用,是半导体行业最主要的单晶制作方法 。

晶体管的诞生 ,对于人类科技发展拥有极为重要的意义。

它拥有电子管的能力,却克服了电子管体积大 、能耗高 、放大倍数小  、寿命短、成本高等全部缺点。从它诞生的那一刻,就决定了它将实现对电子管的全面取代。

正在生产晶体管的工人

在无线通信领域,晶体管和电子管一样 ,可以实现对电磁波的发射 、检波以及信号放大。在数字电路领域,晶体管也可以更方便地实现逻辑电路  。它为电子工业的腾飞打下了坚实的基础 。

后来不断壮大的晶体管家族

集成电路

晶体管的出现,使得电路的小型化成为可能。

1952年 ,英国皇家雷达研究所的著名科学家杰夫·达默(Geoffrey Dummer) ,在一次会议上指出:

“随着晶体管的出现和对半导体的全面研究 ,现在似乎可以想象 ,未来电子设备是一种没有连接线的固体组件 。”

1958年8月,德州仪器公司的新员工基尔比发现,由很多器件组成的极小的微型电路  ,是可以在一块晶片上制作出来的。也就是说,可以在硅片上制作不同的电子器件(例如电阻、电容、二极管和三极管),再把它们用细线连接起来 。

不久后,9月12日 ,基尔比基于自己的设想,成功制造出了一块长7/16英寸、宽1/16英寸的锗片电路 ,也是世界上第一块集成电路(Integrated Circuit)。

这个电路是一个带有RC反馈的单晶体管振荡器 ,整个是用胶水粘在玻璃载片上的 ,看上去非常简陋。电路的器件 ,则是用零乱的细线相连。

基尔比发明集成电路的同时 ,另一个人也在这个领域取得了突破 。这个人,就是仙童半导体(Fairchild Semiconductor)的罗伯特·诺伊斯(Robert Norton Noyce,后来创办了英特尔Intel)  。

仙童是硅谷“八叛徒”联合创立的公司(详见 :仙童传奇),在半导体技术上拥有极强的实力 。

“八叛徒”之一的让·阿梅德·霍尔尼(Jean Hoerni),发明了非常重要的平面工艺(Planner Process)。

这个工艺,就是在硅片上加上一层氧化硅作为绝缘层 。然后 ,在这层绝缘氧化硅上打洞,用铝薄膜将已用硅扩散技术做好的器件连接起来 。

平面工艺的诞生 ,使得仙童能够制造出极小尺寸的高性能硅晶体三极管 ,也使集成电路中器件间的连接成了可能。

1959年1月23日 ,诺伊斯在他的工作笔记上写到:

“将各种器件制作在同一硅晶片上,再用平面工艺将其连接起来,就能制造出多功能的电子线路 。这一技术可以使电路的体积减小 、重量减轻、并使成本下降 。”

得知基尔比提交了集成电路专利后 ,诺伊斯十分懊悔 ,认为自己晚了一步 。然而,很快他又发现 ,基尔比的发明其实存在缺陷 。

基尔比的集成电路采用飞线连接,根本无法进行大规模生产,缺乏实用价值  。

诺伊斯的设想是 :

将电子设备的所有电路和一个个元器件都制成底版,然后刻在一个硅片上。这个硅片一旦刻好了,就是全部的电路,可以直接用于组装产品。此外,采用蒸发沉积金属的方式 ,可以代替热焊接导线 ,彻底消灭飞线 。

仙童的硅晶体集成电路

1959年7月30日,诺伊斯基于自己的想法 ,申请了一项专利 :“半导体器件——导线结构” 。

严格来说 ,诺伊斯的发明更接近于现代意义上的集成电路 。诺伊斯的设计基于硅基底平面工艺 ,而基尔比的设计基于锗基底扩散工艺。诺伊斯依托仙童的硅工艺优势,做出的电路确实比基尔比更先进。

1966年,法庭最终裁定将集成电路想法(混合型集成电路)的发明权授予了基尔比,将今天使用的封装到一个芯片中的集成电路(真正意义上的集成电路) ,以及制造工艺的发明权授予了诺伊斯。

基尔比被誉为“第一块集成电路的发明家” ,而诺伊斯则是“提出了适合于工业生产的集成电路理论”的人。

1960年3月,德州仪器依据杰克.基尔比的设计 ,正式推出了全球第一款商用化的集成电路产品——502型硅双稳态多谐振二进制触发器 ,销售价格为450美元 。

集成电路诞生之后 ,最先应用的是军事领域(当时是冷战最敏感的时期)。

1961年,美国空军推出了第一台由集成电路驱动的计算机。1962年 ,美国人又将集成电路用于民兵弹道导弹(Minuteman)的制导系统 。

后来,著名的阿波罗登月计划,更是采购了上百万片的集成电路,让德州仪器和仙童公司赚得盆满钵满。

军用市场的成功  ,带动了民用市场的拓展。1964年 ,Zenith公司将集成电路用到了助听器上 ,算是集成电路在民用领域的首次落地 。

那之后的故事 ,大家应该都比较熟悉了。在材料、工艺和制程的共同努力下  ,集成电路的晶体管数量不断增加,性能持续提升,成本逐步下降,我们进入了摩尔定律时代。

摩尔定律 :集成电路上可容纳的晶体管数目,约每隔18个月便会增加一倍 ,性能也将提升一倍 。

基于集成电路发展起来的大规模、超大规模集成电路 ,为半导体存储、微处理器的出现铺平了道路。

1970年,英特尔推出世界上第一款DRAM(动态随机存储器)集成电路1103。次年,他们又推出世界上第一款包括运算器 、控制器在内的可编程序运算芯片——Intel 4004 。

IT技术的黄金时代,正式开始了。

晶体管的演进

我们回过头来,再说一下晶体管。

晶体管问世至今 ,形态发生过多次重大改变。概括来说,就是从双极型为主,到单极型为主 。单极型的话,从FET到MOSFET 。从结构的角度来 ,又是从PlanarFET到FinFET,再到GAAFET 。

缩略语有点多,而且比较接近 ,所以容易看晕。大家耐心一点 ,一个个来看。

双极型、单极型

肖克利在1948年发明的结型晶体管 ,因为使用空穴与电子两种载流子参与导电 ,被称为双极结型晶体管(Bipolar Junction Transistor ,BJT) 。

BJT晶体管有NPN和PNP两种结构形式 :

我们可以看出 ,BJT晶体管是在一块半导体基片上,制作两个相距很近的PN结。两个PN结把整块半导体分成三部分 ,中间部分是基极(Base) ,两侧部分是发射极(Emitter)和集电极(Collector)。

BJT晶体管的工作原理较为复杂,且现在很少用到,限于篇幅,我就不多介绍了 。从本质来说,这个晶体管的主要作用 ,就是通过基极微小的电流变化,让集电极产生较大的电流变化,有一个放大的作用。

前面小枣君提到过逻辑电路。由二极管与BJT晶体管组合而成的 ,被称为DTL (Diode-Transistor Logic)电路。后来 ,出现了全部由晶体管搭建的TTL(Transistor-Transistor Logic)电路 。

BJT晶体管的优点是工作频率高、驱动能力强。但是 ,它也有缺点 ,例如功耗大、集成度低  。它的制造工艺也比较复杂 ,采用平面工艺存在一些弊端。

于是 ,随着时间的推移 ,一种新的晶体管开始出现  ,也就是场效应晶体管(Field Effect Transistor,FET)。

1953年 ,贝尔实验室的伊恩·罗斯(Ian Ross)和乔治·达西(George Dacey)合作,制作了世界上第一个结型场效应晶体管(Junction Field Effect Transistor,JFET)原型。

JFET(结型场效应晶体管),此为N沟道

JFET是一种三极(三端)结构的半导体器件,包含源极(Source)、漏极(Drain)、栅极(Gate)。

JFET分为N沟道(N-Channel)JFET和P沟道(P-Channel)JFET 。前者是一块N形半导体两边制作两个P型半导体(如上图)。后者是一块P形半导体两边制作两个N型半导体 。

JFET的工作原理 ,简单来说,就是通过控制栅极G和源极S之间的电压(图中VGS),以及漏极D和源极S之间的电压(图中VDS),从而控制栅极和沟道之间的PN结 ,进而控制耗尽层 。

耗尽层越宽 ,沟道就越窄,沟道电阻越大  ,能够通过的漏极电流(图中ID)就越小。沟道被耗尽层全部覆盖的状态 ,就叫做夹断状态。

JFET晶体管工作时  ,只需要一种载流子,因此被称为单极型晶体管 。

1959年 ,又有一种新的晶体管诞生了 ,那就是大名鼎鼎的MOSFET(Metal-Oxide-Semiconductor FET ,金属氧化物半导体场效应晶体管)。

它的发明人 ,是埃及裔科学家默罕默德·埃塔拉(Mohamed Atala ,改名为Martin Atala)与韩裔科学家姜大元(Dawon Kahng ,也翻译为江大原) 。

MOSFET同样由源极 、漏极与栅极组成。“MOS”里的“M”,指栅极最初使用金属(metal)实现。“O” ,是指栅极与衬底使用氧化物(Oxide)隔离。“S”,则是指MOSFET整体由半导体(semiconductor)实现 。

MOSFET晶体管 ,也称为IGFET(In-sulated Gate FET ,绝缘栅场效应晶体管)。

MOSFET(N型)

这种MOSFET晶体管,也分为“N型”与“P型” 两种 ,即NMOS与PMOS 。按操作类型的话,也分为增强型和耗尽型。

以上图的N型MOS(更常用)为例 。用P型硅半导体材料作衬底,在其面上扩散了两个N型区 ,再在上面覆盖一层二氧化硅(SiO2)绝缘层 。最后 ,在N区上方  ,用腐蚀的方法做成两个孔 。用金属化的方法分别在绝缘层上及两个孔内做成三个电极: G(栅极)  、S(源极)、D(漏极) 。

P型硅衬底有一个端子(B),通过引线和源极S相连。

MOSFET的工作原理较为简单:

正常情况下  ,N区和衬底P之间因为载流子的自然复合会形成一个中性的耗尽区。

给栅极提供正向电压后,P区的电子会在电场的作用下聚集到栅极氧化硅下,形成一个以电子为多子的区域 ,也就是一个沟道 。

现在,如果在漏极和源极之间施加电压,电流将在源极和漏极之间自由流动,实现导通状态 。

栅极G类似于一个控制电压的闸门 ,若给栅极G施加电压 ,闸门打开  ,电流就能从源极S通向漏极D 。撤掉栅极上的电压,闸门关上 ,电流就无法通过。

特别需要指出,1967年,姜大元又和华裔科学家施敏合作  ,共同发明了“浮栅”FGMOS(Floating Gate MOSFET)结构,奠定了半导体存储技术的基础 。后来所有的闪存 、FLASH  、EEPROM等 ,都是基于这个技术 。

刚才介绍了BJT、JFET 、MOSFET,我先画个图  ,大家思路不要乱  :

1963年,仙童半导体的弗兰克.万拉斯(Frank Wanlass)和萨支唐(Chih-Tang Sah,华裔)首次提出了CMOS晶体管。

他们将PMOS与NMOS晶体管组合在一起,连接成互补结构 ,几乎没有静态电流。这也是CMOS晶体管的“C(Complementary,互补)”的由来 。

CMOS的最大特点,就是功耗远低于其它类型的晶体管 。伴随着摩尔定律的不断发展 ,集成电路的晶体管数量不断增加,使得对功耗的要求也不断增加 。基于低功耗的特点 ,CMOS开始成为主流 。

今天 ,95%以上的集成电路芯片,都是基于CMOS工艺制造。

换句话说 ,从1960年代开始,晶体管的核心架构原理就已经基本定型了 。以CMOS 、硅(硅的自然存量远超过锗 ,且耐热性能比锗更好,因此成为主流)、平面工艺为代表的集成电路生态 ,支撑了整个产业长达数十年的高速发展。

PlanarFET、FinFET 、GAAFET

核心架构原理虽然没变,但形态还是有变化的。

集成电路不断升级 ,工艺和制程持续演进  。当晶体管数量达到一定规模后,工艺会倒逼晶体管发生“变形”,以此适应发展的需要 。

早期的时候,晶体管主要是平面型晶体管(PlanarFET)。

随着晶体管体积变小 ,栅极的长度越做越短,源极和漏极的距离逐渐靠近 。

当制程(也就是我们现在常说的7nm、3nm ,一般指栅极的宽度)小于20nm时  ,麻烦出现了 :MOSFET的栅极难以关闭电流通道,躁动的电子无法被阻拦 ,漏电现象屡屡出现  ,功耗也随之变高。

为了解决这个问题 ,1999年 ,美籍华裔科学家胡正明教授,正式发明了鳍式场效应晶体管(FinFET) 。

相比PlanarFET的平面设计,FinFET直接变成了3D设计 、立体结构 。

它的电流通道变成了像鱼鳍一样的薄竖片,三面都用栅极包夹起来 。这样一来,就有了比较强大的电场,提升了控制通道的效率,可以更好地控制电子能否通过 。

技术继续演进,等到了5nm时  ,FinFET也不行了 。这时,又有了GAAFET(环绕式栅极技术晶体管)。

GAAFET英文全称是Gate-All-Around FET 。相比FinFET,GAAFET把栅极和漏极从鳍片又变成了一根根“小棍子” ,垂直穿过栅极 。

这样的话,从三接触面到四接触面 ,并且还被拆分成好几个四接触面 ,栅极对电流的控制力又进一步提高了 。

韩国三星也设计出另一种GAA形式──MBCFET(多桥-通道场效应管) 。

MBCFET采用多层纳米片替代GAA中的纳米线 ,更大宽度的片状结构增加了接触面,在保留了所有原有优点的同时 ,还实现了复杂度最小化。

目前,行业里的各大芯片企业  ,仍然在深入研究晶体管的形态升级 ,以期找到更好的创新,支撑未来的芯片技术发展 。

结语

好了,终于写完了,累死了 。能看到这里的,都是真爱。

总的来说 ,不管是电子管(真空管) ,还是晶体管,都是用电来控制电的小元件 。晶体管基于半导体材料,所以能做得足够小  。这是芯片(集成电路)能做到“极小身材,极大能力”的本因。

半导体材料的特性,以及晶体管的作用 ,看上去都非常简单 。正是亿万个这种简单的“小玩意”,支撑了人类整个数字技术的发展,推动我们迈向数智时代。

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